Vaakumkattemasina aeglase täpsuse vaakumi kiiruse põhjused leidub peamiselt järgmistest aspektidest:
Esiteks ei pruugi difusioonipump olla eriti hea.
Lahendus: ühe difusioonipumba pumba pordi mõõtmiseks võite kasutada ionisaatori, et näha, kui palju üks difusioonipump võib pumbata, ning seejärel vaadata imemise aega ja piirini ning seejärel võrrelda.
2. vaakumisüsteemis on kerge leke.
Lahendus: peate lekke aeglaselt tuvastama, et näha, kas tolmuimeja võib standardile vastata.
3. Karp on liiga määrdunud ja gaas on liiga määrdunud.
Lahendus: puhastage karp
4. Eesmise etapi vaakumiaste pole hea ja mehaanilise pumba või mehaanilise pumba pluss juurte pumba viimane vaakumkste pole hea.
Lahendus: esiosa saab tuvastada ainult takistusmõõturiga.
