Mitme aarjuga kattemasina iooniallikas põhineb külmal katoodi vaakumkaare tühjenemisel. Katoodi sihtmaterjal on laigud, mis liiguvad ringi. Laigud kiirgavad metallist auru ja ioniseerivad ioonideks. Ioonid ladestuvad katte moodustamiseks tooriku pinnale. Mitme ARC kattemasina iooniallika tööpõhimõte on kaare tühjendamine vaakumkeskkonnas katoodi sihtmaterjali kaudu, et moodustada suure tihedusega plasma. Kui vool läbib sihtmaterjali, moodustuvad pinnale pisikesed laigud ja liiguvad suurel kiirusel. Need laigud aurustuvad ja ioniseerivad sihtmaterjali metalliioonide tootmiseks. Need ioonid kiirendatakse, et lennata elektrivälja toimingu all tooriku poole ja ladestatakse lõpuks pinnale, moodustades ühtlase ja tiheda katte.
