Elektronkiire aurustamine seisneb kilematerjali asetamises vesijahutusega vasktiiglisse ja elektronkiire kuumutamise abil, et kilematerjalis olevad aatomid või molekulid aurustuksid ja pinnalt välja pääseksid, seejärel sisenevad substraadi pinnale ja kondenseeruvad kileks.
Elektronkiire aurustamisel on kõrgem termiline efektiivsus, suurem kiire voolutihedus, kiirem aurustumiskiirus ja kile kõrgem puhtus kui üldisel takistuskütte aurustamisel.
Rakendused:
Elektronkiirega aurustamisega vaakumkatmisseadmed võivad katta mitmesuguseid kilesüsteeme suure hulga kihtidega, näiteks lühi{0}}laine läbilaskevõime, pika-laine läbilaskevõime, -peegeldusvastane kile, peegeldav kile, filterkile, spektroskoopiline kile, ribapääsfilm, dielektriline kile, värvikile, kõrge peegeldusvõimega kile jne.
See võib saavutada 0–50 kilekihi kilekatte ja vastata ka selliste toodete katmisnõuetele nagu autode peegeldav klaas, prillid, optilised läätsed, külma valguse tassid jne.
See võib katta mitmesuguseid kilesüsteeme erinevate aurustusallikate, elektronpüstolite, iooniallikate ja kile paksusemõõturitega ning aurustada metalle, oksiide, ühendeid ja muid kõrge -sulamistemperatuuriga-kilematerjale.
Omadused:
Optiline katmismasin on varustatud kvartskristalli kile paksuse mõõtjaga ning PLC ja puuteekraani süsteem on kombineeritud, et realiseerida kogu tööprotsessi automaatne juhtimine, suurepärase töötõhususe ja tootekvaliteedi korratavusega.
Sobib kasutamiseks tootjatele optikavaldkonnas ja suuremahuliste{0}}tööstusliku tootmise nõuetele.
Spetsifikatsioon:
| Optiline katmismasin | |||||||
|
Mudel |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kambri suurus |
Φ800 × 1000 mm |
Φ1200 × 1400 mm |
Φ1400 × 1600 mm |
Φ1600 × 1800 mm |
Φ1000 × 1100 mm |
Φ1200 × 1400 mm |
Φ1600 × 1800 mm |
|
Vaakumüksus |
KT500 difusioonipumba seade |
KT630 difusioonipumba seade |
Kahekordne KT630 difusioonipump |
Kahekordne KT630 difusioonipump |
KT500 difusioonipumba seade |
KT630 difusioonipumba seade |
Kahekordne KT630 difusioonipump |
|
Kattesüsteem |
Elektronpüstoli aurustusallikas, katte lisaioonide spetsiaalne toiteallikas või Halli iooniallikas |
||||||
|
Inflatsioonisüsteem |
Survekontroller |
||||||
|
Kontrolli meetod |
Käsitsi või täisautomaatne |
||||||
|
Kile paksuse jälgimise süsteem |
Kvartskristalli kile paksuse jälgimise süsteem |
||||||
|
Pumpamiskiirus |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
Ülim vaakum |
3,0X10-4Pa |
||||||
|
Märkus |
Ülaltoodud seadmete parameetrid on ainult viitamiseks ning on kavandatud ja kohandatud vastavalt klientide tegelikele protsessinõuetele. |
||||||
Kuum tags: elektronkiire aurustamise vaakumkatte seadmed, Hiina elektronkiirega aurustamise vaakumkatte seadmete tootjad, tarnijad, tehas
