Elektronkiire aurustumine on kilematerjali paigutamine vesijahutusega vask tiiglisse ja kasutada otse elektronkiire kuumutamist, et muuta kile materjali aatomid või molekulid aurustuda ja põgeneda pinnalt, siseneda seejärel substraadi pinnale ja kondenseeruda kileks.
Elektronkiire aurustumisel on suurem soojuslikkuse efektiivsus, kõrgem tala voolutihedus, kiirem aurustumiskiirus ja kile suurem puhtus kui üldise resistentsuse kuumutamise aurustumisel.
Rakendused:
Optiline kattemasin võib katta mitmesuguseid kilesüsteeme, millel on suure hulga kihtide, näiteks lühikese laine pass, pikalaine pass, peegeldusvastane kile, peegeldatav kile, filterfilm, spektroskoopiline kile, ribapassifilm, dielektriline kile, kõrge peegeldav film, värvipeegeldav film jne.
See suudab saavutada 0-50 kihi kilekatte ja täita ka selliste toodete katte nõudeid nagu autotööstuses peegeldav klaas, prillid, optilised läätsed, külmad heledad tassid jne.
See võib katta mitmesuguseid kilesüsteeme, millel on erinevad aurustumisallikad, elektronpüstolid, iooniallikad ja kilepaksused, ning aurustada metalle, oksiide, ühendeid ja muid kõrge sulamispunkti kilematerjale.
Omadused:
Optiline kattemasin on varustatud kvartskristallkile paksusemõõturiga ning PLC ja puutetundliku ekraanisüsteem on ühendatud, et realiseerida kogu tööprotsessi automaatne juhtimine koos suurepärase tööefektiivsuse ja toote kvaliteedi korratavusega.
Sobib tootjate kasutamiseks optilises valdkonnas ja suuremahulistes tööstusliku tootmise nõuded.
Spetsifikatsioon:
| Optiline kattemasin | |||||||
|
Mudel |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kambri suurus |
Φ800 × 1000mm |
Φ1200 × 1400mm |
Φ1400 × 1600mm |
Φ1600 × 1800mm |
Φ1000 × 1100mm |
Φ1200 × 1400mm |
Φ1600 × 1800mm |
|
Vaakumüksus |
KT500 difusioonipumba seade |
KT630 difusioonipumba seade |
Topelt KT630 difusioonipumba seade |
Topelt KT630 difusioonipumba seade |
KT500 difusioonipumba seade |
KT630 difusioonipumba seade |
Topelt KT630 difusioonipumba seade |
|
Kattesüsteem |
Elektronpüstoli aurustusallikas, kattematerjali ioonide spetsiaalne toiteallikas või saali iooniallikas |
||||||
|
Inflatsioonisüsteem |
Rõhukontroller |
||||||
|
Juhtimismeetod |
Käsitsi või täielikult automaatne |
||||||
|
Kile paksuse jälgimissüsteem |
Kvartskristallkile paksuse jälgimissüsteem |
||||||
|
Pumpamiskiirus |
5 × 10-3Pa ﹤ 15min |
||||||
|
Ülim vaakum |
3,0x10-4Pa |
||||||
|
Märkus |
Ülaltoodud seadme parameetrid on mõeldud ainult ning need on kavandatud ja kohandatud vastavalt klientide tegelikele protsessinõuetele. |
||||||
Kuum tags: Optiline kattemasin, Hiina optiliste kattemasinate tootjad, tarnijad, tehas
