Elektronkiire aurustamise vaakumkatte seadmeid kasutatakse tavaliselt AR/AF-katete, sealhulgas kõvade kilede, dekoratiivkilede, ITO-kilede, ribapääsfiltrite ja HR-kilede sadestamiseks. Sellel on eelised, nagu kõrge efektiivsus, suurem tootmisvõimsus ja madalamad tootmiskulud. AR-kilede (alusklaasi läbilaskvus > 91,5%) puhul 420-680 nm lainepikkuse ribal ühepoolne keskmine läbilaskvus > 95% ja peegeldus < 0,5% (keskmine). Kahepoolne keskmine läbilaskvus > 98% ja peegelduvus < 0,5% (keskmine). Sellel on laiad tururakendused.
Vaakumaurustuskatmise tehnoloogia hõlmab aurustuva materjali asetamist vesijahutusega terastiiglisse ja selle otsest kuumutamist elektronkiirega. Aurustuv materjal aurustub ja seejärel kondenseerub aluspinna pinnale, moodustades kile. See on oluline küttemeetod ja arenev suund vaakum-aurustamisega katmise tehnoloogias. Elektronkiirega aurustamine ületab paljud tavapärase takistuskuumutusega aurustamise puudused ja sobib eriti hästi kõrge -sulamistemperatuuriga- ja kõrge puhtusastmega õhukese kilematerjalide valmistamiseks.
Vaakumaurustustehnoloogiat, mis põhineb elektronkiirega pommitamisel aurustamisel, saab elektronkiire aurustusallika kuju alusel täiendavalt klassifitseerida mitmeks tüübiks, sealhulgas rõngasrelvad, sirgepüstolid, E{0}}-tüüpi kahurid ja õõneskatoodiga elektronkahurid.
Rõngapüstol kiirgab elektronkiire rõngakujuliselt{0}}katoodilt. Pärast teravustamist ja kõrvalekaldumist põrkab kiir vastu tiiglit, põhjustades metalli aurustumist. Selle struktuur on suhteliselt lihtne, kuid selle võimsus ja efektiivsus on madalad, mistõttu on see peamiselt laboriseade; seda enam tootmisruumides ei kasutata.
Sirgepüstol on teljesümmeetriline lineaarkiirendi, kus hõõgniitkatoodilt kiirguvad elektronid, mis fokusseeritakse peeneks kiireks, kiirendatakse anoodiga ja seejärel lüüakse vastu tiiglit, sulatades ja aurustades kattematerjali. Sirgerelvade võimsus ulatub mitmesajast vatist mitmesaja kilovatini; mõnda kasutatakse vaakumaurustamiseks, teisi aga vaakumsulatamiseks. Sirgepüstolite puuduseks on see, et aurustunud materjal võib püstoli konstruktsiooni saastada, põhjustades töö ebastabiilsust. Lisaks võivad hõõgniidist väljuvad naatriumioonid katet saastada. Hiljuti töötas üks Lääne-Saksamaa ettevõte välja sirge püstoli täiustatud versiooni, lisades elektronkiire väljapääsule kõrvalekalduva magnetvälja ja ühendades hõõgniidile sõltumatu evakuatsioonisüsteemi. See mitte ainult ei välista täielikult katte hõõgniidi saastumist, vaid pikendab ka püstoli eluiga.
e--tüüpi elektronkahur 270-kraadise läbipaindega ületab elektronide sirge-aurustamise puudused ja on üks enim kasutatavaid elektronkiire aurustamise allikaid. E--tüüpi elektronpüstol võib tekitada suure võimsustiheduse, sulatada kõrge-sulamistemperatuuriga-metalle ja tekitada suure energiaga aurustumisosakesi, mille tulemuseks on tugev side kile ja substraadi vahel ning hea kile kvaliteet. Puuduseks on see, et elektronpüstol nõuab kõrget vaakumit ja negatiivset kõrgepinget, mis toob kaasa keeruka seadmestruktuuri, halva ohutuse, hoolduse raskused ja kõrge hinna.
Õõneskatoodiga elektronkahuri kütteallikana kasutatakse plasma elektronkiirt, mis on genereeritud madala-pinge ja kõrge-vooluga õõneskatoodilahendusega. Katoodina kasutatakse õõnsat tantaaltoru, anoodina tiiglit ja tantaaltoru lähedal asuvat abianoodi. Aurusadestamise ajal õõneskatoodiga elektronpüstoli abil on tekkivatel aurustumisioonidel kõrge energia ja kõrge ionisatsioonikiirus, mille tulemuseks on kvaliteetsed kiled. Õõneskatoodiga elektronkahur vajab madalamat vaakumitaset kui e--tüüpi elektronkahur ja töötab madalal pingel, muutes seadmed suhteliselt lihtsamaks, ohutumaks ja odavamaks. Praegu on nii e--tüüpi kui ka õõneskatoodiga elektronkahureid edukalt kasutatud meie riigis aurustamise-sadestamise ja ioonkattega seadmetes. Püstoli võimsus võib ulatuda kümnetesse tuhandetesse kilovattidesse ning erinevaid õhukesi kilesid on ladestunud sellistele tööstusharudele nagu masinad ja elektroonika.
Aurustusallika eelised elektronkiirega aurustamise vaakumkatmisseadmetes on järgmised:
1) Elektronkiire pommitamise soojusallikal on suur kiire voolutihedus, mis saavutab palju suurema energiatiheduse kui takistuskütteallikad. See võib aurustada materjale kuni 3000 kraadi Celsiuse järgi kõrge aurustumiskiirusega;
2) Kuna aurustatav materjal asetatakse vesijahutusega tiiglisse, välditakse mahuti materjali aurustumist ning reaktsioone mahuti materjali ja aurustusmaterjali vahel, mis on katte puhtuse parandamiseks ülioluline;
3) Soojust saab rakendada otse aurustusmaterjali pinnale, mille tulemuseks on kõrge soojustõhusus ja minimaalsed kaod soojusjuhtivuse ja kiirguse kaudu.
