e-kile vaakumkatmismasin asetab kilematerjali vesijahutusega vasktiiglisse ja kasutab otse elektronkiirtega kuumutamist, et kilematerjalis olevad aatomid või molekulid aurustuksid ja pinnalt välja pääseksid, seejärel sisenevad substraadi pinnale ja kondenseeruvad kileks.
Elektronkiire aurustamisel on kõrgem soojusefektiivsus, suurem kiire voolutihedus, kiirem aurustumiskiirus ja suurem kile puhtus kui üldisel takistuskütte aurustamisel.
Rakendused:
Optilise vaakumkattega seadmed võivad katta mitmesuguseid kilesüsteeme suure hulga kihtidega, näiteks lühi{0}}laine läbilaskvus, pikk{1}}peegelduskile, peegeldusvastane kile, peegeldav kile, filterkile, spektroskoopiline kile, ribapääsfilm, dielektriline kile, tugevalt{3}}peegeldav kile, värvikile jne.
See võib saavutada 0–50 kilekihi kilekatte ja vastata ka selliste toodete katmisnõuetele nagu autode peegeldav klaas, prillid, optilised läätsed, külma valguse tassid jne.
See võib katta mitmesuguseid kilesüsteeme erinevate aurustusallikate, elektronpüstolite, iooniallikate ja kile paksusemõõturitega ning aurustada metalle, oksiide, ühendeid ja muid kõrge -sulamistemperatuuriga-kilematerjale.
Omadused:
e-tala vaakumkatmismasin on varustatud kvartskristallkihi paksuse mõõtjaga ning PLC ja puuteekraani süsteem on kombineeritud, et realiseerida automaatne juhtimine kogu tööprotsessi üle koos suurepärase töötõhususe ja tootekvaliteedi korratavusega.
Sobib kasutamiseks tootjatele optikavaldkonnas ja suuremahuliste{0}}tööstusliku tootmise nõuetele
Spetsifikatsioon:
| Optiline vaakumkatmismasin | |||||||
|
Mudel |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kambri suurus |
Φ800 × 1000 mm |
Φ1200 × 1400 mm |
Φ1400 × 1600 mm |
Φ1600 × 1800 mm |
Φ1000 × 1100 mm |
Φ1200 × 1400 mm |
Φ1600 × 1800 mm |
|
Vaakumüksus |
KT500 difusioonipumba seade |
KT630 difusioonipumba seade |
Kahekordne KT630 difusioonipump |
Kahekordne KT630 difusioonipump |
KT500 difusioonipumba seade |
KT630 difusioonipumba seade |
Kahekordne KT630 difusioonipump |
|
Kattesüsteem |
Elektronpüstoli aurustusallikas, katte lisaioonide spetsiaalne toiteallikas või Halli iooniallikas |
||||||
|
Inflatsioonisüsteem |
Survekontroller |
||||||
|
Kontrolli meetod |
Käsitsi või täisautomaatne |
||||||
|
Kile paksuse jälgimise süsteem |
Kvartskristalli kile paksuse jälgimise süsteem |
||||||
|
Pumpamiskiirus |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
Ülim vaakum |
3,0X10-4Pa |
||||||
|
Märkus |
Ülaltoodud seadmete parameetrid on ainult viitamiseks ning on kavandatud ja kohandatud vastavalt klientide tegelikele protsessinõuetele. |
||||||
Kuum tags: e-tala vaakumkatmismasin, Hiina e-tala vaakumkatmismasin tootjad, tarnijad, tehas
