Mitme aarjuga kattemasina tööpõhimõte

Mitme a-aRC kattemasin genereerib mitme kaare allika (4-16) kaudu kõrge temperatuuriga plasma, aurustab metallimaterjali ja ladestub selle substraadi pinnale, et saavutada efektiivne kattes (kile paksuse ühtlus ± 5%). Selle põhiline vaakumkamber jaguneb kattekambrisse (vaakumi kraad, mis on vähem või võrdne 10^-3Pa) ja eeltöötlemiskambrisse. Esimene tagab madala lisandusega keskkonna ning viimast kasutatakse adhesiooni parandamiseks substraadi puhastamiseks ja poleerimiseks. Peamised protsessi parameetrid hõlmavad kaareallika võimsust (20-200A), substraadi temperatuuri (100-300 kraad) ja sadestumiskiirust (1-10nm/s), mida tuleb dünaamiliselt reguleerida vastavalt substraadi kujule (näiteks keerukale kõverdatud pinnale) ja materjalile (metall/keraamika). See sobib selliste stseenide jaoks nagu optiline läätse anti-refleksioonkile ja tööriista kõva kattekiht.