Tootmisplatsidel on selline olukord tavaline: kliendil on kiirtellimus, mis vajab vaid paarkümmend tööriista, kuid ahju maht on mitu tuhat. Kas see tuleks sisse või välja lülitada?
Aja säästmiseks pannakse tööriistad sageli otse ahju. Tulemus? Värvi erinevus, kile pragunemine või isegi substraadi pehmenemine pärast lõõmutamist.
Sel hetkel kohandab tehnik sageli parameetreid, kontrollib gaase ja kahtlustab sihtmaterjali, kuid jätab tähelepanuta kõige silmapaistmatuma teguri,{0}}ahi on alakoormatud.
Täna käsitleme tööriistade katmise (eriti tundlike kattekihtide, nagu DLC) "jumalikku abi", mida on lihtne segi ajada vanametalliga -näiva koormaga.
Niinimetatud -protsessiparameetrid on tegelikult "täielikud-laadimisparameetrid".
Paljud pinnakatteinsenerid on eksiarvamusel, et kui nad seadistavad pinge, voolu, gaasi rõhu ja temperatuuri õigesti, on katte kvaliteet ühtlane.
See on täiesti vale.
PVD vaakumkate on sisuliselt dünaamiline tasakaal plasmakeskkonnas. Kõiki seatud parameetreid (nt eelpingevool ja sihtvool) reguleeritakse eelseadistatud koormuse alusel.
Kui ahi on täis, "mähib" plasma ühtlaselt tuhandeid toorikuid; aga mis juhtub siis, kui ahjus on sama võimsustiheduse juures ainult üks{0}}kümnendik töödeldavatest detailidest?
Plasma ründab järeleandmatult väheseid allesjäänud toorikuid.
See on nagu tule kasutamine, mis algselt oli mõeldud poti liha küpsetamiseks, kuid nüüd lubab teil küpsetada ainult kaks viilu; paratamatu tagajärjeks on-liha kõrbemine ja pott võib isegi läbi põleda.
Näidekoormuste kolm põhifunktsiooni
Kõrgekvaliteedilise-tööriistade katmisel, eriti vesiniku-vaba DLC või suure-kõvadusega katete kasutamisel, ei kasutata näivaid koormusi (kasutatud tööriistahoidikud, spetsiaalsed kinnitused või asendusvahendid) mitte esteetilistel eesmärkidel, vaid ellujäämiseks.
1. Stabiliseerige "termiline inerts", et vältida substraadi lõõmutamist
Soojusjuhtivus on vaakumkeskkonnas väga aeglane; see tugineb peamiselt kiirgusele.
Kui vaakumkambris on liiga vähe toorikuid, väheneb kogu soojusmahtuvus oluliselt. Sama kuumutusvõimsuse või pommitamisenergia korral on tooriku kuumutuskiirus nagu rakett.
Tagajärg: teie instrument võib näidata ainult 450 kraadi temperatuuri, kuid tooriku teravate nurkade või lõikeservade kohalik temperatuur võib olla juba ületanud kiirterase karastustemperatuuri.
Tulemus: Kate oli korras, kuid tööriista kõvadus langes, mistõttu see purunes kohe pärast kliendi kasutamist. Näiliku koormuse eesmärk on toimida suure "soojuse neelajana", kontrollides temperatuuri ja muutes küttekõvera sujuvaks ja juhitavaks.
2. Toiteallika "petmine" stabiilse eelpinge jaoks
Eelpingestusega toiteallikad peavad töö ajal tuvastama koormuse impedantsi.
Kui toorikuid on liiga vähe, on koormuse impedants väga erinev. Toiteallika sobitusvõrk ei pruugi optimaalselt töötada ja võib isegi sageli tuvastada vale "kaare", mis põhjustab sagedasi toite{1}}väljalülitusi või lainekuju moonutusi.
Tagajärjed: Katte halb haardumine ja ühtlane täppide tekkimine, mis on põhjustatud hetkelisest kõrgepingest, mis purustab tooriku servad.
Tulemus: näiva koormuse lisamisel näeb toiteallikas "tuttavat" impedantsikeskkonda, mille tulemuseks on sujuv ja stabiilne väljundlainekuju.
3. Gaasivoo jaotuse ja plasmatiheduse parandamine (eriti DLC)
DLC (teemant{0}}nagu süsinik) katted on sisemise pinge suhtes äärmiselt tundlikud.
Liiga väikese koormuse korral pole süsinikkile sadestamise ajal liigsetel süsinikuioonidel kuhugi minna, mis põhjustab liiga kiiret lokaalset sadestumise kiirust ja kile sisemise pinge järsu suurenemise.
Tagajärjed: Kile võib vaakumis praguneda enne kambrist väljumist või automaatselt maha kooruda pärast seda, kui see on mitu päeva pärast kambrist lahkumist seisnud.
Lahendus: tühikoormus, hõivates ruumi, simuleerib gaasivoolu häireid ja tarbimist täiskoormuse tingimustes, tagades, et reaktiivgaaside tarbimiskiirus säilib protsessiaknas.
Mannekeenkoorem ei ole "prügikast".
Kuna mannekeenkoorem on nii tähtis, kas te ei saa lihtsalt vana vanametalli sisse visata?
See on teine levinud viga, mida paljud tehased teevad.
1. Mannekeenikoorem peab olema "puhas". Paljud operaatorid viskavad ruumi täitmiseks lihtsalt sisse roostes raudplokke või õli{2}}plekitud rakise.
Need määrdunud asjad vabastavad vaakumis kuumutamisel suures koguses vee- ja õliauru (gaaside väljutamine).
Soovitus: mannekeenid peaksid läbima ka standardse puhastusprotsessi, vähemalt tagamaks, et need on õli- ja roostevabad.
2. Geomeetria peaks olema "sarnane".
Kui katate õhukest otsfreesi, peaks ka mannekorm ideaaljuhul olema sarnase vardakujulise{0}}kujuga objekt.
Kui asetate mannekeeniks suure lameda plaadi, on selle elektrivälja jaotus (servaefekt) täiesti erinev peenikese varda omast, häirides tugevalt lähedal asuva tooriku katte ühtlust.
