Tihendusomadused on vaakumkatmisseadmete projekteerimisel ülioluline aspekt, kuna selle kvaliteet mõjutab otseselt seda, kas katmiseks vajalik vaakumitase on saavutatav järgneva vaakumprotsessi käigus. Kui seda nõuet ei täideta, mõjutab see otseselt kile teket ja kvaliteeti. Vaakumkatmisseadmete või -süsteemide hea tihendamise tagamiseks ei piisa pärast paigaldamist lihtsalt lekkekoha leidmisest ja blokeerimisest. Vaakumkatte seadme või süsteemi projekteerimise, valmistamise, kasutuselevõtu ja kasutamise kõikides etappides on vaja läbi viia vaakumlekke tuvastamine.
Disaini kaalutlusedVaakumkatmismasin
1. Tehke protsessi nõuete alusel kindlaks vaakumseadmete maksimaalne lubatud lekkekiirus ja seejärel iga komponendi maksimaalne lubatud lekkekiirus selle kogulekkemäära alusel.
2. Lähtudes seadmete maksimaalsest lubatud lekkemäärast ja muudest näitajatest, määrake eelnevalt kindlaks projekteerimisetapis kasutatavad lekke tuvastamise meetodid ning kasutage seda ühe kasutuselevõtu ja vastuvõtmise põhiprintsiibina.
3. Seadme või komponentide maksimaalsete lubatud lekkekiiruse näitajate põhjal määrata kindlaks tihendus- ja ühendusviisid ning seadme üldine töötlustäpsus, samuti see, milline dünaamiline tihendustüüp suudab nõuetele vastata. Näiteks kas kasutada äärikute jaoks metall- või kummitihendeid.
4. Anuma konstruktsioonitugevuse projekteerimisel arvestage rõhulekke tuvastamise meetodi kasutamisel katsetatava komponendi survekindlust ja konstruktsioonitugevust.
5. Komponentide konstruktsioonimaterjalide valimisel kaaluge, kas kasutatakse materjale, mida töökeskkond ja lekkekatsegaas võivad korrodeeruda ja kahjustada.
6. Konstruktsioonide projekteerimise ajal tuleks konteineril või süsteemil varustada vajalikud varuliidesed lekketuvastusseadmete jaoks, et neid saaks kasutada seadmete kokkupanekul ja kasutuselevõtul. Eriti suurte ja keeruliste torusüsteemide puhul on sageli vaja segmenteeritud lekketuvastusmeetodeid; seetõttu tuleks torujuhtmele paigaldada segmenteeritud isolatsiooniventiilid ja iga isolatsioonisegmendi jaoks tuleks reserveerida lekketuvastusseadmete liidesed.
7. Konstruktsioonikomponentide projekteerimisel vältige projekteerimisskeeme, mis võivad lekke tuvastamist segada. Näiteks ei tohiks vaakumkambri kruviaukude jaoks kasutada pimeauke, sest pärast kruvi paigaldamist saab kruviaugu sees allesjäänud ruumis olev gaas välja pääseda ainult keermepilu kaudu, moodustades valelekke. See pikendab süsteemi evakueerimise aega ja häirib tavalist lekke tuvastamist. Vaadake diagrammi konstruktsioonide kohta, mis ei tohiks vaakumilekke tuvastamisel ilmuda.
8. Sarnaselt ei ole konstruktsioonis lubatud pidevad kahe-poolsed keevisõmblused ja mitmekihilised tihendusrõngastruktuurid, kuna need tekitavad keskele "parasiitmahu", mis põhjustab gaasi lekke. Veelgi enam, kui nii sisemine kui ka välimine keevisõmblus või tihendusrõngas lekivad samaaegselt, muudab "parasiitne maht" lekkiva gaasi reageerimisaja läbi kahekihilise keevisõmbluse liiga pikaks, muutes tavalise lekke tuvastamise võimatuks.
9. Keevitatud konstruktsioonide projekteerimisel minimeerige keevisõmbluste arv, mille lekkeid ei ole võimalik pärast lõplikku kokkupanekut tuvastada.
Ülaltoodud punktid on ettevaatusabinõud lekke tuvastamiseks vaakumkatmisseadmetes. Tihendusomaduste kvaliteet määrab otseselt selle, kas seadet saab edukalt vastu võtta ja kas selle kvaliteet vastab standarditele.
