Paljud kliendid on ostmisel segadusesvaakumkatmismasinad. Nad teavad, millist tüüpi ja mudelit pindamismasinat nad vajavad, kuid nad ei suuda kindlaks teha, millistele standarditele peab masin vastama, et seda saaks pidada kvaliteetseks ja kõrgeks{1}}. See segadus sunnib neid tegema palju ümbersõite. Puyuan Vacuum tutvustab allpool üksikasjalikult põhilisi tehnilisi nõudeid, millele vaakumkatmismasin peab vastama.
Vaakumaurustamine, katoodioniseerimine, magnetroni pihustamine:
1.Seadme vaakumtorustike ja staatilise tihenduskomponentide struktuur peab vastama standardile GB/T6070.
2.Vaakummõõturid tuleks paigaldada madala{0}}vaakumi ja kõrgvaakumiga-torujuhtmetele ning vaakumkatte kambrile, et mõõta vaakumi taset igas kohas. Kui tuvastatakse elektrivälja häired, tuleb mõõtepordile paigaldada elektrivälja varjestusseade.
3.Kui PVD katmisseadmetes kasutatav põhipump on difusioonpump, tuleks pumba sisselaskeküljele paigaldada õliaurude püüdur.
4. Vaakumkatmisseadmete katmiskamber peaks olema varustatud vaatlusakna ja deflektoriga. Vaatlusaken peaks võimaldama jälgida sademeallika ja muude kriitiliste komponentide tööolekut.
5. Ioonkattega sadestamise allika konstruktsioon peaks maksimeerima ionisatsioonikiirust katmisprotsessi ajal, parandama kattematerjali kasutusmäära, ratsionaalselt sobitama sadestamise allika võimsusega ja ratsionaalselt korraldama sadestusallika asendi vaakumkambris.
6.Kütteseade peaks olema ratsionaalselt paigutatud; üldiselt peaks küttekeha konstruktsioon tagama plaaditava tooriku ühtlase temperatuuri tõusu.
7. Töödeldava detaili hoidik peaks olema vaakumkambrist isoleeritud ja tooriku hoidiku konstruktsioon peaks tagama tooriku kilekihi ühtluse.
8. Ioonvaakumkatmismasinatel peaks üldjuhul olema tooriku negatiivne eelpinge ja ioonpommitamise toiteallikas. Ioonpommitamise toiteallikal peaks olema seade ebanormaalse tühjenemise mahasurumiseks ja stabiilse töö tagamiseks.
9.Isolatsioonitakistuse väärtused vaakumkambri erinevate osade vahel, mis on ühendatud erinevate potentsiaalidega, peavad vastama GB/T11164-1999 standardile 4.4.6.
10. Muud ettevaatusabinõud
(1) Ümbritseva õhu temperatuur: 10-30 kraadi
(2) Suhteline õhuniiskus: mitte üle 75%
(3) Jahutusvee sisselasketemperatuur: mitte kõrgem kui 25 kraadi
(4) Jahutusvee kvaliteet: olme kraanivesi või samaväärse kvaliteediga vesi.
(5) Toide: 380 V kolmefaasiline 50 Hz või 220 V ühefaasiline 50 Hz (olenevalt kasutatavatest elektriseadmetest); pinge kõikumise vahemik: 342-399V või 198-231V; sageduse kõikumise vahemik: 49-51Hz.
(6) Seadmete nõutav rõhk, temperatuur ja suruõhu, vedela lämmastiku, külma vee, kuuma vee jne tarbimine tuleks täpsustada toote kasutusjuhendis.
(7) Seadme ümbritsev keskkond peab olema puhas ja õhk ei tohi sisaldada tolmu ega gaase, mis võivad põhjustada elektrikomponentide või muude metallosade korrosiooni või metallidevahelist juhtivust.
