Võtke näitena mitme a-aRC-kattemasinat, selle struktuur võib laias laastus jagada kolmeks peamiseks osaks. Esimene on vaakumkambri õõnsus, mis on kogu seadme tuum ja mida kasutatakse katteprotsessi ajal kõrge vaakumkeskkonna säilitamiseks. Teine on ühiku osa, sealhulgas torustikuventiilid ja erinevad pumbad, mis töötavad koos vaakumkambris vaakumseisundi säilitamiseks. Lõpuks on olemas elektrijuhtimissüsteem, mis on kogu seadme aju ja vastutab iga komponendi toimimise reguleerimise eest, et tagada katteprotsessi sujuv areng.
Vaakumkambri õõnsus on tavaliselt valmistatud ülitugevatest materjalidest, et tagada see kõrge temperatuuri ja kõrge rõhu all. Õõnsuse sees on mitu tugipunkti, et parandada plaaditavaid toorikuid, et nad saaksid katteprotsessi ajal oma positsioone muutumatuna hoida. Samal ajal on õõnsus väga hästi pitseeritud ja võib õhu keskkonna tagamiseks tõhusalt takistada sisenemist.
Ühikuosa sisaldab erinevat tüüpi pumbasid, nagu mehaanilised pumbad, molekulaarsed pumbad jne, mis heitgasid vaakumkambris liigset gaasi õhu pumpamisega, et säilitada vajalik vaakumkraadi. Lisaks on torustiklappide seadistamine samuti väga kriitilise tähtsusega. Nad saavad täpselt kontrollida gaasi ja materjalide voogu, et tagada materjali varustus ja gaasi tühjendamine katteprotsessi ajal.
Elektri juhtimissüsteem on kogu seadme aju. See jälgib mitmesuguseid vaakumkambris reaalajas parameetreid, näiteks vaakumkraadi, temperatuuri, rõhku jne, erinevate andurite ja ajamite kaudu ning reguleerib automaatselt eelseatud programmi järgi. Lisaks saab elektrijuhtimissüsteem jälgida ka seadme töö olekut. Kui kõrvalekallete ilmnemine, võib see seadmete ohutu töö tagamiseks õigeks ajaks äratada.
Üldiselt arvestab mitme a-aRC-kattemasina konstruktsiooniehitus täielikult katteprotsessi kõiki aspekte ning tagab kattekvaliteedi järjepidevuse ja stabiilsuse täpse struktuuri ja täiustatud juhtimissüsteemi kaudu.
