Horisontaalne magnetroni pritsimisliin

Horisontaalne magnetroni pritsimise katte tootmisliin on oluline füüsilise aurude sadestusseadmete konfiguratsioon.

Selle põhifunktsioon on see, et substraat (toorikut) paigutatakse katteprotsessi ajal horisontaalselt.

See paigutus toob kaasa ainulaadsed omadused ja rakenduse eelised, muutes selle konkreetsetes väljades asendamatuks.

Mitmekihiliste komposiitkilede sadestumine klaasi, keraamika ja lamedate toodete pinnale;

Horisontaalne substraadi paigutus

See on põhifunktsioon. Substraat (nagu klaasplaat, räni vahvel, metallplaat, plastplekk jne) asetatakse horisontaalselt kandurile (näiteks kandik, raam) või transporditakse konveierimehhanismi abil horisontaalselt läbi katteala.

Pidev toodang

Horisontaalsed jooned sobivad väga sobivad pideva või realiseerimise tootmiseks.

Substraate saab järjestikku laadida, pritsimiskambrisse katteks saata ning seejärel välja saata ja maha laadida, saavutades tõhusad suuremahulised monteerimisliinid.

Automatiseerimist on lihtne integreerida

Horisontaalne paigutus ja lineaarne paigutus on väga mugav robotite automatiseeritud laadimis-/mahalaadimissüsteemide (nt rullid, keti konveierid, robotid), veebiavastusseadmete jms integreerimiseks.

Lamedate substraatide jaoks

Eriti hea lamedate või kergelt kõverate substraatide töötlemisel (näiteks arhitektuuriklaas, fotogalvaaniline klaas, lameekraaniga substraadid, elastsed rullid).

Väike gravitatsiooni mõju

Horisontaalne paigutus muudab substraadi pinnaga risti oleva gravitatsiooni suuna.

Osakeste puhul, mida võib pritsimisprotsessi käigus genereerida, on gravitatsiooni sette mõju kile kihi ühtlusele suhteliselt väike (võrreldes vertikaalse tüübiga).

Mugav töö ja hooldus

Peamised seadmed ja komponendid asuvad tavaliselt kõrgustel, mis on hõlpsasti ligipääsetavad operaatoritele, muutes igapäevase töö, seire ja hoolduse mugavaks.

Äärmiselt kõrge tootmise tõhusus ja võimekus
Pidev tootmine:

See on horisontaalse joone suurim eelis. Substraadi saab pidevalt sisestada ja väljutada ning pritsimisprotsess on lõpule viidud substraadi pideva või samm-sammulise liikumise ajal, mis sobib eriti suuremahuliste, ühe või piiratud sordi tootmise vajaduste jaoks.

Suurepärane suure piirkonna katteta ühtlus
Lamedate substraatide (eriti ristkülikukujuliste klaasplaatide) puhul saab suures piirkonnas saavutada väga kõrge kile paksuse ühtluse, kavandades hoolikalt sihtmärgi paigutuse, magnetvälja jaotuse, substraadi ülekandekiiruse ja siht-substraadi kauguse.

Suurepärane protsessi stabiilsus ja korratavus
Väga automatiseeritud ja pidevad protsessid vähendavad inimese sekkumist ja operatiivvigu

Stabiilne transpordi kiirus ja täpne protsessi parameetrite juhtimine (gaasi rõhk, võimsus, gaasi vool) tagavad protsessi stabiilsuse partiide vahel ja pika aja jooksul.

Substraadi suurepärane ühilduvus ja paindlikkus
Mitmekesised materjalid: sobib mitmesuguste lamedate substraatide jaoks, näiteks klaas, metalllehed, räni vahvlid, keraamika ja konkreetne plastik.

Lihtne saavutada mitmekihiline filmide ladestumine
Korraldades erinevate materjalide järjestuses olevate materjalide sihikindlaid sihtmärke ja edastades substraadi nende sihtpositsioonide kaudu järjestuses, saab mitme materjali õhukesed kiled pidevalt ladestada ühes edastusprotsessis, moodustades keeruka mitmekihilise kilesüsteemi (näiteks hõbedase mitmekihilise kilega, mis koosneb madalast e-klaasist ja virnastatud fotovontaic-filmi rakkudest).